处理设备具备管理运送车(3)的运送管理单元(HC),该运送车(3)沿着经由多个处理装置(1)和贮存处理对象物的贮存装置(Q)的运送线行驶而运送处理对象物。运送管理单元(HC)实行以下预备运送控制:监视从处理装置(1)对主管理单元(JC)发送的处理进行信息,在多个处理装置(1)之中,将处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置(1)在从主管理单元(JC)发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出,为了从该处理装置(1)运出处理对象物,使运送车(3)相对于作为预备运送起点选出的处理装置(1)行驶。
1.xa0一种处理设备,设有运送车,该运送车沿着运送线行驶而运送处理对象物,该运送线经由对所述处理对象物进行不同工序的处理的多个处理装置和贮存所述处理对象物的贮存装置,所述多个处理装置中的每一个构成为对主管理单元发送处理进行信息,该处理进行信息包含要求所述处理对象物的运入的运入要求信息、以及要求所述处理对象物的运出的运出要求信息,所述主管理单元构成为:如果所述运入要求信息和所述运出要求信息被发送,则制作表示所述处理对象物的运送起点和运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送该运送指令信息,所述运送管理单元构成为基于所述运送指令信息来控制所述运送车的行驶,其中,所述运送管理单元构成为实行以下预备运送控制:监视从所述处理装置对所述主管理单元发送的所述处理进行信息,在多个所述处理装置之中,将所述处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置在从所述主管理单元发送所述运送指令信息以前作为预备运送起点选出,使所述运送车相对于作为所述预备运送起点选出的所述处理装置而行驶。
2.xa0根据权利要求1所述的处理设备,其特征在于,所述运送管理单元构成为:基于作为所述处理进行信息的所述运出要求信息,将所述处理对象物的处理为结束状态的处理装置作为所述预备运送起点选出。
3.xa0根据权利要求1所述的处理设备,其特征在于,所述多个处理装置构成为对所述主管理单元发送所述处理对象物的处理进展信息作为所述处理进行信息,所述运送管理单元构成为:基于作为所述处理进行信息的所述处理进展信息,将所述处理对象物的处理为临近结束的状态的处理装置作为所述预备运送起点选出。
4.xa0根据权利要求3所述的处理设备,其特征在于,所述运送管理单元构成为:将所述处理对象物的处理的进展状况为比该处理的完成时刻靠前的预定进展状况的处理装置作为所述处理对象物的处理为临近结束的状态的处理装置,将该处理装置作为所述预备运送起点选出。技术领域
本发明涉及处理设备,其设有运送车,该运送车沿着经由对处理对象物进行不同工序的处理的多个处理装置和贮存前述处理对象物的贮存装置的运送线行驶而运送前述处理对象物,前述多个处理装置中的每一个构成为对主管理单元发送处理进行信息,该处理进行信息包含要求前述处理对象物的运入的运入要求信息和要求前述处理对象物的运出的运出要求信息,前述主管理单元构成为:如果前述运入要求信息和前述运出要求信息被发送,则制作表示前述处理对象物的运送起点和运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送该运送指令信息,前述运送管理单元构成为基于前述运送指令信息而控制前述运送车的行驶。
背景技术
如上所述的处理设备为例如用于对半导体基板依次进行洗净工序、干燥工序、蚀刻工序等不同的多个工序的处理的设备。作为多个处理装置,一般而言,每个装备有对处理对象物进行不同工序的处理的多种处理装置。例如,在处理设备为对半导体基板进行处理的设备的情况下,收纳多块半导体基板的半导体收纳容器相当于处理对象物。即,处理半导体基板的处理装置从半导体收纳容器依次取出半导体基板而处理,将处理完的半导体基板依次收纳于半导体收纳容器。而且,在该处理设备中,处理对象物由运送车依次运送至进行不同工序的处理的多个处理装置。即,处理装置在运转开始时或处理对象物刚被运出后不存在处理对象物时,对主管理单元发送处理对象物的运入要求信息作为处理进行信息。主管理单元如果接受运入要求信息,则选出用于运入发送了运入要求信息的处理装置的处理对象物。该处理对象物的选出多数从贮存于贮存装置的处理对象物之中选出,在选出贮存于贮存装置的处理对象物的情况下,主管理单元对贮存装置指示该处理对象物的出库。主管理单元如果选出处理对象物,则制作将接收该处理对象物的部位作为运送起点且将发送了处理对象物的运入要求信息的处理装置作为运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送该运送指令信息。运送管理单元如果接受运送指令信息,则为了将运送起点的处理对象物运送至运送终点的处理装置而控制运送车的行驶。即,使运送车行驶至接收处理对象物的部位,接收处理对象物,接着使运送车行驶至作为运送终点的处理装置,将处理对象物交付至作为运送终点的处理装置。一般而言,装备有多台运送车,非作业中等的能够运送的运送车被选作用于运送处理对象物的运送车。而且,处理装置一般而言对主管理单元发送针对处理中的处理对象物的处理的进展信息作为处理进行信息,如果针对处理对象物的处理结束,则对主管理单元发送处理对象物的运出要求信息作为处理进行信息。主管理单元如果接受运出要求信息,则将发送运出要求信息的处理装置作为运送起点,制作将应当运送来自该处理装置的处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送。在设定作为应当运送来自处理装置的处理对象物的部位的运送终点时,主管理单元基于关于该处理对象物的多个处理工序的进行信息而对运送的处理对象物确认接着处理的工序为哪种工序,确认多个处理装置的现在的处理状况,而且确认贮存装置的处理对象物的贮存状况,然后参考提高多个处理装置的运行率等条件并同时将适当的部位设定为应当运送处理对象物的部位。在实际的运行中,被设定为应当运送处理对象物的部位的部位多数考虑定于贮存装置,但也存在贮存装置以外的部位被定为应当运送部位的情况。例如,在运送指令信息的制作中或其之前,从其它处理装置对主管理单元发送运入要求信息而且该处理装置为对处理对象物进行接着进行的工序的处理的处理装置的情况下,有时候也将该处理装置定为应当运送处理对象物的部位。另外,作为贮存装置以外的部位被定为应当运送部位的其它示例,在与处理装置对应而装备有处理对象物的暂时放置部的情况下,有时候即使进行接着进行的工序的处理的处理装置在现在处理中,该处理装置的暂时放置部也被定为应当运送部位。在运送指令信息的制作中,其它处理装置被定为应当运送处理对象物的部位,相当于针对上述发送运入要求信息的处理装置而运入处理对象物。另外,在与处理装置对应而装备暂时放置部的情况下,在选出针对上述发送运入要求信息的处理装置而运入的处理对象物时,当处理对象物存在于与该处理装置对应的暂时放置部时,该处理对象物优先被选出。即,在发送运入要求信息的处理装置中,如上所述,贮存于贮存装置的处理对象物被运入的情况较多,但也存在运入来自其它处理装置或暂时放置部的处理对象物的情况。主管理单元如果确定作为应当运送处理对象物的部位的运送终点,则制作将接收该处理对象物的处理装置作为运送起点且将应当运送处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送该运送指令信息。在这样的处理设备中,一直以来,运送管理单元构成为:如果从主管理单元发送基于来自处理装置的运出要求信息制作的运送指令信息,则为了运送发送了运出要求信息的处理装置的处理对象物而开始运送车的行驶控制。即,一直以来,运送管理单元构成为:如果从主管理单元接受运送指令信息,则开始运送车的行驶控制,使运送车行驶至接收处理对象物的运送起点的处理装置,接收处理对象物,接着使运送车行驶至应当运送处理对象物的部位,交付处理对象物(例如,参照专利文献1)。在专利文献1的处理设备中,主计算机相当于主管理单元,库存相当于贮存装置,运送装置相当于运送管理单元和运送车。另外,处理动工可能信号相当于运入要求信息,处理结束报告信号相当于运出要求信息。在专利文献1的处理设备中,运送管理单元如果从主管理单元发送基于运出要求信息制作的运送指令信息,则开始运送车的行驶控制,因而有可能在发送了运出要求信息的处理装置结束处理对象物的处理之后,等待运送车到达的时间变长。即,如果从处理装置对主管理单元发送作为处理进行信息的运出要求信息,则主管理单元制作将发送运出要求信息的处理装置作为运送起点且将应当运送来自该处理装置的处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送。在确定作为应当运送来自处理装置的处理对象物的部位的运送终点时,主管理单元基于关于该处理对象物的多个处理工序的进行信息对运送的处理对象物确认接着处理的工序为哪种工序,确认多个处理装置的处理状况,并且确认贮存装置的处理对象物的贮存状况,然后参考提高多个处理装置的运行率等条件并同时将适当的部位设定为应当运送处理对象物的部位。因此,在基于运送要求信息而制作运送指令信息时,需要相当长的时间(例如,30~60秒)。所以,直到运送车到达发送了运出要求信息的处理装置为止所需的时间是将主管理单元制作运送指令信息的时间和运送车从现在位置行驶至发送了运出要求信息的处理装置的时间相加后的时间。因此,在发送了运出要求信息的处理装置结束处理对象物的处理之后,等待运送车到达的时间可能变长,难以提高设备的处理作业效率。作为消除这样的处理设备的问题点的现有示例,存在如下构成的处理装置:如果成为针对现在处理中的处理对象物的处理不久结束的时刻,则对作为主管理单元的中间计算机发送表示该处理何时结束的结束预告信号。在该构成中,中间计算机如果接受该结束预告信号,则制作将发送了结束预告信号的处理装置作为运送起点且将应当运送存在于该处理装置的处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息,对作为运送管理单元的自动运送车控制器发送该运送指令信息(例如,参照专利文献2)。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-19911号公报;专利文献2:日本特开2000-156398号公报。
发明内容
发明要解决的问题在上述专利文献2的处理设备中,如果成为针对现在处理中的处理对象物的处理不久结束的时刻,则处理装置对作为主管理单元的中间计算机发送表示该处理何时结束的结束预告信号。由此,在处理装置中针对现在处理中的处理对象物的处理结束以前,能够使作为主管理单元的中间计算机开始运送指令信息的制作,能够使在发送了结束预告信号的处理装置结束处理对象物的处理之后等待作为运送车的自动运送车到达的时间减少。结果,能够使处理设备的处理作业效率提高。然而,如果成为针对现在处理中的处理对象物的处理不久结束的时刻,则在处理装置对作为主管理单元的中间计算机发送表示该处理何时结束的结束预告信号的构成中,存在着处理装置的控制负荷增加的不良状况。即,在处理装置中装备有为了实行处理对象物的处理而具备的控制机器类的工作的控制器,在该控制器中实行机器类的控制工作和与主管理单元的通信控制。即,该控制器管理机器类的控制工作并进行与主管理单元之间的通信,因而其作业负荷大,如果欲使这样的控制器发送结束预告信号,则处理装置的控制负荷增加。因此,作为装备于处理装置的控制器,存在着需要具备大容量的高价控制器的缺点,希望避免处理装置的控制负荷的增加。本发明是鉴于上述实情做出的,其目的在于提供一种处理设备,该处理设备能够避免处理装置的控制负荷的增加,同时还谋求处理作业效率的提高。用于解决问题的方案本发明的处理设备设有运送车,该运送车沿着运送线行驶而运送处理对象物,该运送线经由对前述处理对象物进行不同工序的处理的多个处理装置和贮存前述处理对象物的贮存装置,前述多个处理装置中的每一个构成为对主管理单元发送处理进行信息,该处理进行信息包含要求前述处理对象物的运入的运入要求信息、以及要求前述处理对象物的运出的运出要求信息,前述主管理单元构成为:如果前述运入要求信息和前述运出要求信息被发送,则制作表示前述处理对象物的运送起点和运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送该运送指令信息,前述运送管理单元构成为基于前述运送指令信息来控制前述运送车的行驶,该处理设备的第一特征构成在于以下这点:前述运送管理单元构成为实行以下预备运送控制:监视从前述处理装置对前述主管理单元发送的前述处理进行信息,在多个前述处理装置之中,将前述处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置在从前述主管理单元发送前述运送指令信息以前作为预备运送起点选出,使前述运送车相对于作为前述预备运送起点选出的前述处理装置而行驶。即,运送管理单元实行以下预备运送控制:监视从处理装置对主管理单元发送的处理进行信息,在多个处理装置之中,将处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置在从主管理单元发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出,使运送车相对于作为预备运送起点选出的处理装置而行驶。即,例如,如果从处理装置对主管理单元发送作为处理进行信息的运出要求信息,那么能够将发送该运出要求信息的处理装置作为处理对象物的处理结束的处理装置,在从主管理单元发送运送指令信息以前作为预备运送起点的处理装置选出。另外,在处理装置构成为对主管理单元发送处理进展信息作为处理进行信息的情况下,由于能够基于该处理进展信息认知该处理装置中的处理的进展状况,因而能够将处理对象物的处理临近结束的处理装置在从主管理单元发送运送指令信息以前作为预备运送起点的处理装置选出。而且,运送管理单元如果选出作为预备运送起点的处理装置,则为了从该处理装置运出处理对象物而开始使运送车相对于作为预备运送起点选出的处理装置而行驶。另外,在运送车到达处理装置之后,运送管理单元以如下方式控制运送车的行驶:基于在主管理单元制作并发送的运送指令信息来设定运送终点,将从处理装置接收的处理对象物运送至运送终点。运送管理单元在运送车向着处理装置行驶的途中接受在主管理单元制作的运送指令信息。或者,当运送车在运送指令信息的接受前到达处理装置时,使运送车待机,并同时接受运送指令信息。这样,运送管理单元如果选出作为预备运送起点的处理装置,则为了从该处理装置运出处理对象物而开始使运送车相对于作为预备运送起点选出的处理装置而行驶。因此,能够使在处理装置结束处理对象物的处理之后等待运送车到达的时间减少,结果,能够提高处理设备的处理作业效率。添加说明的话,如果从处理装置对主管理单元发送作为处理进行信息的运出要求信息,则主管理单元制作将发送运出要求信息的处理装置作为运送起点且将应当运送来自该处理装置的处理对象物的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送管理单元发送。此时,由于花费用于将适当的部位设定为应当运送处理对象物的部位的时间,因而在基于运送要求信息来制作运送指令信息时,需要相当长的时间(例如,30~60秒)。这样,在主管理单元基于运出要求信息来制作运送指令信息时,需要长时间,但是依照上述第一特征构成,运送管理单元实行预备运送控制,在从主管理单元接受运送指令信息之前,使运送车向着成为运送起点的处理装置行驶。所以,能够利用主管理单元制作运送指令信息所需的时间使运送车向着成为运送起点的处理装置行驶,能够使在处理装置结束处理对象物的处理之后等待运送车到达的时间减少。结果,能够提高处理设备的处理作业效率。另外,处理装置构成为仅对主管理单元发送处理进行信息,因而处理装置的控制负荷不会因运送管理单元所实行的预备运送控制而增加。另一方面,运送管理单元的控制负荷由于监视从处理装置对主管理单元发送的处理进行信息并同时实行预备运送控制而增加,但运送管理单元的控制负荷与管理大量信息所需的主管理单元或处理装置相比是本来很小的负荷。因此,作为构成运送管理单元的控制器,即使欲实行预备运送控制,也能够用容量小的廉价装置实现。总之,依照本申请发明的第一特征构成,能够提供以下处理设备:其能够避免处理装置的控制负荷的增加并同时还谋求处理作业效率的提高。本发明的处理设备的第二特征构成除了上述第一特征构成之外在于以下这点:前述运送管理单元构成为:基于作为前述处理进行信息的前述运出要求信息,将前述处理对象物的处理结束的处理装置作为前述预备运送起点选出。即,运送管理单元基于从处理装置对主管理单元作为处理进行信息发送的运出要求信息,将处理对象物的处理结束的处理装置作为预备运送起点选出。而且,从处理装置对主管理单元作为处理进行信息发送的运出要求信息是处理装置直接要求处理对象物的运出的信息,因而如果存在该运出要求信息,那么能够直接将运出处理对象物的处理装置作为预备运送起点选出。因此,运送管理单元仅仅监视运出要求信息的有无即可,能够通过实行预备运送控制而抑制运送管理单元的控制负荷增加。总之,依照本发明的第二特征构成,能够提供以下处理设备:除了上述第一特征构成的作用效果之外,能够抑制预备运送控制的实行引起的运送管理单元的控制负荷的增加。本发明的处理设备的第三特征构成除了上述第一特征构成之外在于以下这点:前述多个处理装置构成为对前述主管理单元发送前述处理对象物的处理进展信息作为前述处理进行信息,前述运送管理单元构成为:基于作为前述处理进行信息的前述处理进展信息,将前述处理对象物的处理为临近结束的处理装置作为前述预备运送起点选出。即,运送管理单元基于从处理装置对主管理单元作为处理进行信息发送的处理进展信息,将处理对象物的处理为临近结束的状态的处理装置作为预备运送起点选出。即,处理进展信息为表示处理装置针对处理对象物的处理的进展状况的信息,因而能够基于该处理进展信息来判断处理装置针对处理对象物的处理是否临近结束,能够将临近结束的处理装置作为预备运送起点选出。这样,由于能够将针对处理对象物的处理临近结束的处理装置作为预备运送起点选出,因而能够使用将从该临近结束的时刻直到处理装置完成处理的时刻的时间和主管理单元制作运送指令信息所需的时间相加后的时间用作用于使运送车行驶至预备运送起点的处理装置的时间。因此,能够使在处理装置结束处理对象物的处理之后等待运送车到达的时间确实减少。总之,依照本发明的第三特征构成,能够提供以下处理设备:除了上述第一特征构成的作用效果之外,能够使在处理装置结束处理对象物的处理之后等待运送车的到达的时间确实减少。本发明的处理设备的第四特征构成除了上述第三特征构成之外在于以下这点:前述运送管理单元构成为:将前述处理对象物的处理的进展状况为比该处理的完成时刻靠前的预定进展状况的处理装置作为前述处理对象物的处理为临近结束的状态的处理装置,将该处理装置作为前述预备运送起点选出。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式所涉及的处理设备的概略平面图。图2是示出本发明的第一实施方式所涉及的运送车的正面图。图3是示出本发明的第一实施方式所涉及的控制构成的框图。图4是示出本发明的第一实施方式所涉及的通信状态的时间表。图5是示出本发明的第二实施方式所涉及的控制构成的框图。
具体实施方式
[第一实施方式]基于附图说明本发明的第一实施方式。如图1和图2所示,以经由多个处理装置1和贮存装置Q(在本例中,多个贮存装置Q)的状态在顶板侧设置有行驶轨道2。构成有处理设备,该处理设备装备有沿着沿该行驶轨道2形成的运送线S行驶的顶板运送式的运送车3(在本例中,多台运送车3),由运送车3运送并处理在收纳容器内收纳了多块半导体基板的处理对象物4。如图2所示,行驶轨道2由悬挂支撑用托架5以固定状态设置于顶板部,另外,运送车3构成为以悬挂支撑于行驶轨道2的状态沿着运送线S行驶(在本例中,在一个方向上行驶)。而且,运送车3构成为在停止于针对处理装置1或贮存装置Q的移载部位的状态下进行处理对象物4的接收或交付。多个处理装置1是进行半导体基板的洗净处理、干燥处理、蚀刻处理等不同的多个工序的处理的多种装置,在本实施方式中,在多个处理装置1之中,存在有多个进行相同工序的处理的处理装置。另外,在多个处理装置1中的每一个中,如图1和图2所示,设有移载工位1A。该移载工位1A是用于进行从运送车3接收在处理装置1进行处理的处理对象物4或将在处理装置1进行了处理的处理对象物4交付(移载)至运送车3的载置部。虽然未例示,但在处理装置1中装备有基板移载装置,其从载置于移载工位1A的处理对象物4中的收纳容器取出半导体基板,将处理后的半导体基板收纳于收纳容器。贮存装置Q是用于暂时保管处理对象物4的装置,与处理装置1同样,在贮存装置Q中,也如图1所示设有移载工位Qa。例如,贮存装置Q沿纵横具备多个处理对象物4的收纳部而构成。虽然未例示,但在贮存装置Q中装备有运送单元,其在移载工位Qa与收纳部之间运送处理对象物4。在运送车3中,如图2所示,具备在行驶轨道2上行驶的行驶驱动部3A、以及以位于行驶轨道2下方的状态悬挂支撑于行驶驱动部3A的支撑部3B。在支撑部3B,升降操作自如地具备以悬挂状态把持处理对象物4的把持部6。把持部6构成为:利用由金属丝或带等构成的索状体7相对于支撑部3B被悬挂支撑,通过索状体7的卷绕而上升,通过索状体7的放出而下降。另外,把持部6构成为自如切换为把持作用状态和把持解除状态。所以,运送车3构成为:在停止于针对处理装置1和贮存装置Q的移载部位的状态下,使把持部6升降且将把持部6切换为把持作用状态和把持解除状态,由此,相对于处理装置1的移载工位1A或贮存装置Q的移载工位Qa而进行交付处理对象物4或从这些移载工位1A、Qa接收处理对象物4。运送线S以具备以下构件的状态形成:环状的主路径10;多个环状的副路径11;以及连结路径12,其用于连结主路径10和副路径11而进行运送车3的从主路径10向副路径11的分支行驶或从副路径11向主路径10的汇合行驶。而且,处理装置1以沿着环状副路径11的路径方向并列的状态设置,贮存装置Q以位于环状主路径10与环状副路径11的连结部位的状态设置。所以,在本实施方式的处理设备中,为了对处理对象物4中的半导体基板依次进行多个不同的处理工序,相对于进行不同工序的处理的多种处理装置1依次运送处理对象物4。而且,在进行处理对象物4的接下来工序的处理的处理装置1实行针对其它处理对象物4的处理的情况下等,将处理对象物4暂时贮存于贮存装置Q。接着,说明用于运送处理对象物4的控制构成。如图3所示,设有作为管理处理设备全体的主管理单元的上位控制器JC、以及作为管理运送车3的运送管理单元的运送控制器HC。在本实施方式中,运送控制器HC构成为除了运送车3之外还管理多个贮存装置Q。上位控制器JC、运送控制器HC和多个处理装置1使用通信LAN等而以能够相互通信的方式连接。运送控制器HC和运送车3构成为通过无线通信等而以能够相互通信的方式构成,运送控制器HC和贮存装置Q通过通信线缆等而以能够相互通信的方式连接。在多个处理装置1中装备有控制器,其控制机器类的工作,并且实行与上位控制器JC之间的通信。所以,处理装置1通信是指该控制器实行通信控制。即,从处理装置1对上位控制器JC的信息(例如,处理进行信息)的发送由被处理装置1控制的该控制器实行。另外,在多个贮存装置Q中,装备有控制器,其控制上述运送单元的工作,并且实行与运送控制器HC之间的通信。所以,贮存装置Q通信是指该控制器实行通信控制,贮存装置Q将处理对象物4入库和出库是指该控制器控制运送单元的工作。再者,在多个运送车3中装备有控制器,其控制行驶工作、把持部6的升降工作、以及将把持部6切换为把持作用状态和把持解除状态的把持状态切换工作,而且实行与运送控制器HC之间的通信。所以,运送车3通信是指该控制器实行通信控制,运送车3行驶是指该控制器实行行驶控制。再者,运送车3移载处理对象物4是指该控制器实行把持部6的升降工作、以及把持部6的把持状态切换工作。多个处理装置1中的每一个构成为:基于针对处理对象物4的处理进展状况,对上位控制器JC发送处理进行信息,该处理进行信息包含要求处理对象物4的运入的运入要求信息和要求处理对象物4的运出的运出要求信息。即,处理装置1在运转开始时或处理对象物4刚被运出后不存在处理对象物4时,对上位控制器JC发送处理对象物4的运入要求信息作为处理进行信息。另外,多个处理装置1中的每一个构成为:基于针对处理对象物4的处理进展状况,对上位控制器JC发送针对处理中的处理对象物4的处理的进展信息(处理进展信息)作为处理进行信息。再者,多个处理装置1中的每一个构成为:如果针对处理对象物4的处理结束,则对上位控制器JC发送处理对象物4的运出要求信息作为处理进行信息。例如,处理装置1所发送的处理的进展信息是指以下信息:打开处理对象物4中的收纳容器的盖,开始从收纳容器取出半导体基板,半导体基板的取出结束,将处理结束的第一块半导体基板收纳于收纳容器,将处理结束的第n块(n为2以上的整数)半导体基板收纳于收纳容器,将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器,闭合收纳容器的盖,等等。在本实施方式中,将从处理装置1中的处理(全体处理)的开始时刻直到该处理的完成时刻(结束时刻)的处理期间分为多个阶段(进展阶段)来管理,并且与现在的进展状况对应的进展阶段的信息被包含于处理进展信息。多个进展阶段中的每一个例如基于处理对象物4的构成或处理装置1中的处理的内容等而设定。在上述示例中,在相互不同的多个(在本例中,七个)进展阶段实行以下各个工序:打开处理对象物4中的收纳容器的盖的工序,开始从收纳容器取出半导体基板的工序,半导体基板的取出结束的工序,将处理结束的第一块半导体基板收纳于收纳容器的工序,将处理结束的第n块半导体基板收纳于收纳容器的工序,将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器的工序,闭合收纳容器的盖的工序。在此,将包含处理装置1中的全体处理的开始时刻的最初进展阶段作为“开始阶段”,将包含处理装置1中的全体处理的完成时刻的最后进展阶段作为“完成阶段”,将“开始阶段”与“完成阶段”之间的进展阶段作为“中途阶段”。在上述示例中,开始阶段为实行将处理对象物4中的收纳容器的盖打开的工序的进展阶段,完成阶段为实行将收纳容器的盖闭合的工序的进展阶段。上位控制器JC管理关于处理对象物4的多个处理工序的进行信息、多个处理装置1的处理状况、以及贮存装置Q中的处理对象物4的贮存状况。而且,上位控制器JC构成为:如果从多个处理装置1发送运入要求信息和运出要求信息(即,如果接受运入要求信息和运出要求信息),则基于关于处理对象物4的多个处理工序的进行信息、多个处理装置1的处理状况、以及贮存装置Q中的处理对象物4的贮存状况等,制作表示处理对象物4的运送起点和运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。即,上位控制器JC如果接受运入要求信息,则选出用于运入发送了运入要求信息的处理装置1的处理对象物4。该处理对象物4的选出多数从贮存于贮存装置Q的处理对象物4之中选出,在将贮存于贮存装置Q的处理对象物4选出的情况下,上位控制器JC对贮存装置Q指示该处理对象物4的出库。即,上位控制器JC对贮存装置Q发送出库指令信息。此外,在本实施方式中,由于运送控制器HC构成为管理贮存装置Q,因而上位控制器JC在对贮存装置Q指示处理对象物4的出库的情况下,对运送控制器HC指示处理对象物4从贮存装置Q的出库。即,上位控制器JC对运送控制器HC发送出库指令信息。基于该指令,运送控制器HC对贮存装置Q指示出库。上位控制器JC如果选出应当运送的处理对象物4,则制作将接收该处理对象物4的部位作为运送起点且将发送了处理对象物4的运入要求信息的处理装置1作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。运送控制器HC如果接受运送指令信息,则为了将运送起点的处理对象物4运送至运送终点的处理装置1而控制运送车3的行驶。即,使运送车3行驶至接收处理对象物4的部位,接收处理对象物4,接着使运送车3行驶至作为运送终点的处理装置1,将处理对象物4交付至作为运送终点的处理装置1。一般而言,装备有多台运送车3,非作业中等的能够运送的运送车3被选择作为用于运送处理对象物4的运送车3。上位控制器JC如果接受运出要求信息,则将发送了运出要求信息的处理装置1作为运送起点,制作将应当运送来自该处理装置1的处理对象物4的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送。在设定作为应当运送来自处理装置1的处理对象物4的部位的运送终点时,上位控制器JC基于关于该处理对象物4的多个处理工序的进行信息对运送的处理对象物4确认接着处理的工序为哪种工序,确认多个处理装置1的现在的处理状况,而且确认贮存装置Q的处理对象物4的贮存状况,然后参考提高多个处理装置1的运行率等条件并同时将适当的部位设定为应当运送处理对象物4的部位。在实际的运行中,应当运送处理对象物4的部位多数被定于贮存装置Q,但也存在贮存装置Q以外的部位被定为应当运送部位的情况。例如,也存在以下情况:在运送指令信息的制作中或其之前从其它处理装置1对上位控制器JC发送运入要求信息而且该处理装置1为对处理对象物4进行接着进行的工序的处理的处理装置1的情况下,该处理装置1被定为应当运送处理对象物4的部位。而且,上位控制器JC如果确定应当运送处理对象物4的部位,则制作将接收该处理对象物4的处理装置1作为运送起点且将应当运送处理对象物4的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。运送控制器HC构成为:监视从处理装置1对上位控制器JC发送的处理进行信息,实行预备运送控制。在此,“预备运送控制”是以下控制:在多个处理装置1之中,将处理对象物4的处理结束的处理装置1在从上位控制器JC发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出,使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1而行驶。即,如果从处理装置1对上位控制器JC发送作为处理进行信息的运出要求信息,则运送控制器HC将发送该运出要求信息的处理装置1作为处理对象物4的处理结束的处理装置1(换言之,判定为处理对象物4的处理结束的处理装置1),在从上位控制器JC发送运送指令信息以前,作为预备运送起点的处理装置1而选出。上位控制器JC与各处理装置1之间的通信以从发送起点发送包含发送终点、发送起点和传达信息的通信信息的方式进行。运送控制器HC构成为:监视在上位控制器JC与各处理装置1之间通信的通信信息,选出发送起点为处理装置1、发送终点为上位控制器JC且传达信息为运出要求信息的通信信息,由此选出发送运出要求信息的处理装置1。而且,运送控制器HC如果选出作为预备运送起点的处理装置1,则为了从该处理装置1运出处理对象物4而开始使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1行驶。关于使多个运送车3中的任一运送车3行驶至作为预备运送起点选出的处理装置1,选择多个运送车3之中的接近作为预备运送起点选出的处理装置1的运送车3(例如,最近的运送车3),其为未分配运送作业的运送车3。另外,运送控制器HC在使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1的行驶开始之后,进行运送车3是否到达处理装置1的确认、到达处理装置1的运送车3结束了从处理装置1接收处理对象物4的确认等。如果运送车3从处理装置1接收处理对象物4,则运送控制器HC以如下方式控制运送车3的行驶:基于从上位控制器JC发送的运送指令信息指定运送终点,将从处理装置1接收的处理对象物4运送至运送终点。运送控制器HC在运送车3向着处理装置1行驶的途中接受在上位控制器JC制作的运送指令信息。或者,当运送车3在运送指令信息的接受前到达处理装置1时,使运送车3待机,并接受运送指令信息。这样,运送控制器HC如果选出作为预备运送起点的处理装置1,则为了从该处理装置1运出处理对象物4而开始使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1行驶。因此,能够使在处理装置1结束处理对象物4的处理之后等待运送车3到达的时间减少,结果,能够提高处理设备的处理作业效率。接着,基于图4说明上位控制器JC、处理装置1和运送控制器HC之间的通信流程。此外,在以下的说明中,仅仅说明通信内容的概要,通信内容的细节省略。另外,在上位控制器JC、处理装置1和运送控制器HC之间的通信中,如果接受所发送的通信信息,则对发送起点发送表示已接受的应答信息,由此确认所发送的通信信息被适当地接受,在应答信息未被发送的情况下,进行再次发送通信信息,但在以下的说明中,关于应答信息的发送的记载省略。首先,如果从处理装置1对上位控制器JC发送运入要求信息,则上位控制器JC如上所述将运送至发送了运入要求信息的处理装置1的处理对象物4的运送起点选出。然后,制作将接收该选出的处理对象物4的部位作为运送起点且将发送了处理对象物4的运入要求信息的处理装置1作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。在运送起点为贮存装置Q的情况下,上位控制器JC如上所述对运送控制器HC发送出库指令信息。运送控制器HC如果发送运送指令信息,则使选择的运送车3行驶至运送起点,且在运送起点接收了处理对象物4之后使运送车3行驶至运送终点。如果运送车3到达运送终点,则将处理对象物4交付运送终点。然后,如果处理对象物4的运送完成,则运送控制器HC对上位控制器JC发送表示运送已完成的运送完成信息。上位控制器JC如果接受运送完成信息,则对处理装置1发送处理开始指示信息。接受了处理开始信息的处理装置1开始处理,然后对上位控制器JC发送上述处理的进展信息。上位控制器JC基于从处理装置1发送的处理的进展信息而进行管理处理装置1的处理状况的管理处理。如果针对现在处理中的处理对象物4的处理结束,则处理装置1对上位控制器JC发送作为处理进行信息的运出要求信息。上位控制器JC如果从处理装置1发送运出要求信息,则设定运送终点作为应当运送来自发送运出要求信息的处理装置1的处理对象物4的部位。然后,如果设定运送终点,则上位控制器JC制作将发送运出要求信息的处理装置1作为运送起点且将应当运送来自该处理装置1的处理对象物4的部位作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。如果处理装置1对上位控制器JC发送运出要求信息,则监视在上位控制器JC与各处理装置1之间通信的通信信息的运送控制器HC将发送运出要求信息的处理装置1作为预备运送起点选出。然后,运送控制器HC如果选出作为预备运送起点的处理装置1,则为了从该处理装置1运出处理对象物4而开始使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1行驶。然后,如果运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1到达,运送车3从处理装置1接收处理对象物4,则运送控制器HC以如下方式控制运送车3的行驶:基于从上位控制器JC发送的运送指令信息而指定运送终点,将从处理装置1接收的处理对象物4运送至运送终点。运送控制器HC在运送车3向着处理装置1行驶的途中接受在上位控制器JC制作的运送指令信息。或者,当运送车3在运送指令信息的接受前到达处理装置1时,使运送车3待机,并同时接受运送指令信息。处理对象物4已被运出的处理装置1对上位控制器JC发送运入要求信息,另外,如果处理对象物4的运送完成,则运送控制器HC对上位控制器JC发送表示运送已完成的运送完成信息。接受了运入要求信息或运送完成信息的上位控制器JC如前所述将运送至发送了运入要求信息的处理装置1的处理对象物4的运送起点选出,制作将接收该选出的处理对象物4的部位作为运送起点且将发送了处理对象物4的运入要求信息的处理装置1作为运送终点的运送指令信息,对运送控制器HC发送该运送指令信息。[第二实施方式]接着,说明第二实施方式。该第二实施方式中,运送控制器HC的构成与第一实施方式不同,但是其它构成与第一实施方式相同。因此,在以下的说明中,仅仅说明与第一实施方式不同的部分。如图5所示,在该第二实施方式中,运送控制器HC由与上位控制器JC通信的物流控制器15、与该物流控制器15通信且管理运送车3的运转的运送控制控制器16、以及与物流控制器15通信且管理贮存装置Q的运转的贮存控制器17构成。物流控制器15对运送控制控制器16发送从上位控制器JC发送的运送指令信息,对贮存控制器17发送从上位控制器JC发送的出库指令信息等与贮存装置Q相关的信息。另外,物流控制器15监视从处理装置1对上位控制器JC发送的处理进行信息,在多个处理装置1之中,将处理对象物4的处理结束的处理装置1在从上位控制器JC发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出,向运送控制控制器16指示使运送车3相对于作为预备运送起点选出的处理装置1行驶的预备行驶指令。运送控制控制器16如果从物流控制器15被指示预备行驶指令,则开始使运送车3向着被指示的处理装置1行驶。另外,运送控制控制器16如果从物流控制器15发送运送指令信息,则为了将从通过预备行驶指令行驶的处理装置1接收的处理对象物4运送至通过运送指令信息指定的运送终点而控制运送车3的行驶。该第二实施方式为在构成使处理装置1、贮存装置Q和运送车3的设置数量增加的大型设备的情况下优选的构成。而且,在这样构成大型设备的情况下,也可以装备与上位控制器JC通信且与多个处理装置1中的每一个通信的中继控制器,经由该中继控制器进行在上位控制器JC与多个处理装置1中的每一个之间的通信。[其它实施方式]接着,列举其它实施方式。(1)在上述第一和第二实施方式中,列举了基于运出要求信息而将作为预备运送起点的处理装置1选出的情况,但是在处理装置1发送处理进展信息作为处理进行信息的情况下,能够基于该处理进展信息而认知该处理装置1中的处理的进展状况。因此,也可以以下方式实施:运送管理单元(运送控制器HC)基于作为处理进行信息的处理进展信息,将处理对象物4的处理临近结束的处理装置1在从主管理单元(上位控制器JC)发送运送指令信息以前作为预备运送起点的处理装置1选出。即,在上述第一和第二实施方式中,作为处理进展信息,从处理装置1发送以下信息:打开处理对象物4中的收纳容器的盖,开始从收纳容器取出半导体基板,半导体基板的取出结束,将处理结束的第一块半导体基板收纳于收纳容器,将处理结束的第n块半导体基板收纳于收纳容器,将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器,闭合收纳容器的盖,等等。在此情况下,例如,也可以以下方式实施:运送管理单元预先监视将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器的信息,将发送该信息的处理装置1作为处理对象物4的处理临近结束的处理装置1而检测出(换言之,判定为处理对象物4的处理临近结束的处理装置1),在从主管理单元发送运送指令信息以前,作为预备运送起点的处理装置1选出。在此,在上述第一和第二实施方式中,处理装置1的处理期间分为多个进展阶段被管理。另外,在上述示例中,发送将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器的信息的处理装置1被判定为处理对象物4的处理临近结束的处理装置1。在此情况下,处于实行将处理结束的最后的半导体基板收纳于收纳容器的工序的进展阶段的处理装置1被判定为处理对象物4的处理临近结束的处理装置1。而且,在此情况下,用于判定处理对象物4的处理为临近结束的状态的进展阶段(以下,称为“特定进展阶段”)成为完成阶段的前一个的中途阶段。即,与特定进展阶段对应的进展状况成为比处理对象物4中的处理的完成时刻靠前的预定进展状况。所以,在此情况下,运送管理单元成为以下构成:将处理对象物4的处理的进展状况为比该处理的完成时刻靠前的预定进展状况(以下,称为“特定进展状况”)的处理装置1判定为处理对象物4的处理临近结束的状态的处理装置1。换言之,运送管理单元成为以下构成:将处理对象物4的处理的进展阶段为特定进展阶段的处理装置1判定为处理对象物4的处理临近结束的状态的处理装置1。此外,不仅仅完成阶段的前一个的中途阶段,还能够为完成阶段的前两个以上的中途阶段被设定为特定进展阶段的构成。另外,在特定进展阶段具有某一程度的时间长度的情况下,还能够将特定进展状况作为与特定进展阶段中的特定时刻(例如,特定进展阶段的开始时刻或结束时刻)对应的进展状况。在此情况下,能够将完成阶段设定为特定进展阶段,例如,能够为以下构成:与完成阶段的开始时刻对应的进展状况被设定为特定进展状况。(2)在上述第一和第二实施方式中,列举了沿着设置于顶板侧的行驶轨道2行驶的悬挂式运送车3,但是作为运送车3,能够适用在地面行驶的地面行驶式的台车等各种方式的运送车。(3)在上述第一和第二实施方式中,列举了运送线S由环状主路径10、多个环状副路径11、连结主路径10和副路径11的多个连结路径12构成的情况,但是运送线S的具体构成能够进行各种变更。(4)在上述第一和第二实施方式中,列举了将收纳半导体基板的收纳容器作为处理对象物4来运送的情况,但是作为处理对象物4,并不限于收纳半导体基板的收纳容器,本发明能够适用于将各种处理物作为处理对象物运送。(5)虽然在上述第一和第二实施方式中未列举,但是也可与处理装置1对应而以装备处理对象物4的暂时放置部的方式实施。在此情况下,在基于运出要求信息来设定处理对象物4的运送终点时,即使进行接着进行的工序的处理的处理装置1在现在处理中,也能够将该处理装置1的暂时放置部定为应当运送部位。在此情况下,在装备暂时放置部的处理装置1发送了运入要求信息时,当处理对象物4存在于与该处理装置1对应的暂时放置部时,该处理对象物4作为运送起点的处理对象物被优先选出。产业上的可利用性本发明能够优选地利用于设有运送车的处理设备,该运送车沿着经由多个处理装置和贮存处理对象物的贮存装置的运送线行驶而运送处理对象物。符号说明1u3000u3000处理装置3u3000u3000运送车4u3000u3000处理对象物HCu3000u3000运送控制器(运送管理单元)JCu3000u3000上位控制器(主管理单元)Qu3000u3000贮存装置Su3000u3000运送线。